- 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所研制出實用深紫外光刻機學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子專用設(shè)備研發(fā)團隊研制成功波長254nm的實用深紫外光刻機（Mask aligner），光刻分辨力達到500nm?！ 」饪虣C因使...2017-07-28 16:03:16
- 紫外光刻機的工作條件
?????? 紫外線光刻機是 印制板制造工藝中的重要設(shè)備。傳統(tǒng)光刻機的玻璃-邁拉曬架在生產(chǎn)過程中需要人工趕氣,邁拉膜需要經(jīng)常更換。由于冷卻系統(tǒng)過...2015-01-30 16:02:14
- 掩膜板的制造和管理Electro Mechanical Systems，微機電系統(tǒng)）等。紫外光刻機、步進式光刻機等光刻設(shè)備上都需要使用掩膜版。掩膜板的掩蔽層一般為鉻（C...2024-08-01 10:02:30
- 基于流動聚焦微流控芯片的液晶微滴制備及傳感響應(yīng)分析了微滴尺寸對檢測性能的影響。實驗儀器與試劑URE-2000 / 25 紫外光刻機；微注射泵；數(shù)顯鼓風(fēng)干燥箱；等離子清洗儀；真空干燥箱；水浴鍋；電子天平...2023-12-29 11:00:24
- 基于液滴微流體的微流控芯片系統(tǒng)的研究s 壓力泵、硅片、SU-82025光膠、等離子清洗機、勻膠機、加熱臺、紫外光刻機、微流控芯片、PDMS實驗過程：液滴微流控芯片整合控制系統(tǒng)的搭建?激光...2023-11-14 10:18:22
- 處于中國軍民擔(dān)憂中的芯片制造機器。這種帶有數(shù)十億或數(shù)萬億個晶體管的晶片最終會被制成計算機芯片。國產(chǎn)雙面紫外光刻機一臺EUV機器由超過10萬個部件組成，成本約為1.2億美元，裝在40個...2022-12-01 10:59:39
- 一文看懂光刻機刻機使用的則是波長 13.5nm 的極紫外光。?早在上世紀(jì)九十年代，極紫外光刻機的概念就已經(jīng)被提出， ASML 也從 1999 年開始 EUV 光刻機...2018-05-16 08:59:54
- 液滴微流控芯片系統(tǒng)中微液滴特性表征及氨基酸檢司；勻膠機購自中國科學(xué)院微電子研究所；加熱臺購自誼華電子設(shè)備有限公司；紫外光刻機購自中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所；微流控芯片為自制PDMS芯片，PDMS購...2018-01-17 09:29:56
- URE-2000B型光刻機產(chǎn)品名稱：
中國光電URE-2000B型光刻機URE-2000B型紫外光刻機主要技術(shù)特點： ?該機采用i線紫外曝光光源，光學(xué)系統(tǒng)采用特殊的消衍...2017-10-30 16:34:18
- SU-8光刻膠光刻工藝光刻膠進行前烘處理,在熱板上緩慢冷卻4) 在Karl Suss MA6紫外光刻機上進行接觸式曝光5) 對曝光后的SU-8光刻膠在熱板上進行后烘熱處理，...2017-10-09 17:36:09
