• 為什么微流控光刻工藝要用黃光?光刻是微流控芯片制造中的重要工藝之一。簡單來說，它是通過使用光掩膜和光刻膠在基板上復制流體圖案的過程?；鍖⑼扛补瓒趸瘜咏^緣層和光刻膠。光刻膠在被紫...2025-06-16 09:43:59
• 光刻工藝中的顯影技術一、光刻工藝概述光刻工藝是半導體制造的核心技術，通過光刻膠在特殊波長光線或者電子束下發(fā)生化學變化，再經(jīng)過曝光、顯影、刻蝕等工藝過程，將設計在掩膜上的圖形...2025-06-09 09:41:00
• 光刻工藝介紹及對掩膜版的質(zhì)量要求光刻工藝的基本要求包括圖形完整、尺寸準確、套準對準且套準精度高、表面干凈，并具有一定的工藝寬容度。?光刻是一種圖形復印和化學腐蝕相結合的精密表面加工技...2024-09-09 10:06:02
• 微流控芯片一般光刻工藝過程把設計掩膜模圖形轉移到晶圓上需要經(jīng)過一整套復雜的涂膠、曝光、顯影、刻蝕等工藝過程，這一過程大體可以分為以下11個步驟，如下圖1 所示：?圖1 一般光刻...2024-07-04 09:13:40
• 光刻工藝介紹達30個掩模。通常根據(jù)生產(chǎn)非常細的管線的能力來預測工藝性能。但是，評估光刻工藝的性能非常困難。制造商要求嚴格控制數(shù)千個硅芯片和硅芯片中超過10億個晶...2023-12-21 10:56:32
• 光刻機是光刻工藝的核心設備循環(huán)都是通過程序控制，自動光刻機主要是滿足工廠對于處理量的需要。?　　光刻工藝定義了半導體器件的尺寸，是IC制造中的關鍵環(huán)節(jié)。作為芯片生產(chǎn)流程中最復...2022-11-22 08:50:23
• 微流控芯片的加工技術——光刻工藝光刻工藝?光刻工藝是用光刻膠、掩模和紫外光進行微制造 ，工藝如下 ：?①仔細地將基片洗凈;?②在干凈的基片表面鍍上一層阻擋層 ，例如鉻、二氧化硅、氮化...2022-09-22 08:49:07
• 光刻工藝的評價標準是由工藝集成（process integrated，PI）部門負責的。光刻工藝的輸出就是光刻膠上的圖形。一般集成部門對光刻膠上的圖形有嚴格要求。如圖...2018-07-31 18:10:09
• 光刻工藝的成本一個在研的新光刻工藝最終是否被生產(chǎn)線采納用于量產(chǎn)，不僅取決于其技術指標是否達到要求，更重要的是它能否為芯片生產(chǎn)帶來足夠的經(jīng)濟效益。芯片造價的30%~40%是花費...2018-07-25 08:40:00
• 現(xiàn)代光刻工藝研發(fā)各部分的職責和協(xié)作使用的支持。這種技術支持超過了傳統(tǒng)的使用培訓、故障維修、而是深入?yún)⑴c到光刻工藝研發(fā)中，為工藝中的難點提供解決方案。????光刻材料也已經(jīng)不再局限于光...2018-07-12 09:55:41